在石窟、山崖和石碑上大规模地刊刻佛经，并且持续进行千年以上，在中华大地建成多处石刻图书馆，这是中国佛教信众在世界佛教发展史和人类文化史上的伟大创造和不朽贡献。缅甸古都曼德勒石经院供奉的南传佛教石经著称于世，但只有方，在数量上不及中国佛教（包括汉传和藏传佛教）石经的1/50，在时间上晚于中国汉传佛教石经一千多年，而且仅仅持续了6年（～年）。
中国佛教石经始自甘肃省永靖县炳灵寺西秦建弘年间（～年）营造的窟内墨书《佛说未曾有经》（节文），以及北凉（或～年）中后期在河西走廊的一些地方雕造的小石塔。炳灵寺窟的《佛说未曾有经》虽然是墨书，没有将经文镌刻，但因为书写于石窟壁面，仍应归于石经范畴。北凉小石塔现存14座，分散保存在国内外多处博物馆中，这些小石塔的形制融汇了西域和中土的双重特征，塔身多数雕刻《佛说十二因缘经》（节文）。但是，迄今在印度和中亚的大小佛塔上和石窟中尚未发现雕刻佛经的实例。
北魏永平二年（年），开凿晋、豫之间太行山道的建设者在河南省博爱县青天河丹河大峡谷险峻的悬崖峭壁上、线刻观世音菩萨像的左侧，镌刻《妙法莲华经·普门品第廿四》（节文），祈求观世音菩萨保佑、消灾避难。这是迄今所知最早的佛教摩崖刻经。此后，东魏武定二年（年）在济南*石崖也摩崖镌刻了《大般涅槃经》的偈颂。
佛教刻经的另一种类型是在石碑上镌刻经文，形成刻经碑。现存最早的刻经碑是嵩山著名的《中岳嵩阳寺碑》，镌刻于东魏天平二年（年），碑阴雕刻94龛像，龛侧镌刻佛名——五十三佛、三十五佛和东、西、南、北、上、下方六尊佛像的佛名，这些佛像和佛名都是根据佛经的经文雕刻的。天平四年曲阜胜果寺造像刻经碑（现藏日本东京大学文学部）在碑阴镌刻《金刚经》，是另一通较早的刻经碑。以上两通刻经碑的主要部分（碑阳）雕刻的都是佛像，经文居于次要部位（碑阴和碑侧），显示早期的刻经碑不是独立的主体，而是依附在造像碑上出现的，《中岳嵩阳寺碑》的经文（佛名）对于造像的依附性则更胜于曲阜胜果寺碑。
北齐时期产生了纯正的以经文为主体的刻经碑。皇建元年（年）的两通刻经碑——山东省东平县老湖镇梁林村海檀寺的《观世音经》碑和泗水县泉林镇韩家涧天明寺的《维摩诘经》（节文）碑，都是在碑阳镌刻经文，在碑阴镌刻题记和颂文。这种变化表明，经文在北齐时期受到佛教信众更大程度的重视，刻经碑摆脱了对于造像碑的依附，开始作为独立的主体出现。
在皇建元年的稍早时候——乾明元年（年），河南省安阳县小南海石窟中窟的外壁镌刻《大般涅槃经·圣行品》（节文）和《华严经》偈赞，成为在石窟镌刻佛经的发轫之作。
北魏太延四年（年），太武帝开始排斥佛教，此后自太平真君五年（年）至正平二年（年），又进一步在全境范围内渐次禁绝佛教，形成中国历史上第一次大规模的灭佛运动。北周武帝建德三年（年）下诏“断佛、道二教，经像悉毁，罢沙门、道士，并令还民”。建德六年北周灭北齐，立即在北齐全境推行灭佛*策，毁寺4万，强迫万僧、尼还俗。太武帝和周武帝这两次灭佛，在佛教信徒的心中留下了惨痛的教训，而在周武帝灭佛之前，“末法”（佛教术语，意为“佛教衰败变质、将临灭亡”，一般以释迦牟尼涅槃年以后为进入“末法”）时代到来的思潮已经在北齐统治的山东、河北、河南地区流传开了。为了拯救佛教，为了让佛教经典永存世间，北齐的佛教信众以更大的规模和更加炽烈的热情，将佛经镌刻在山崖上和石窟中。
“末法”石经始于山东省东平县洪顶山的刻经，是在北齐河清三年（年）及其以后数年，以印度僧人法洪（鸿）为经主、由大书法家僧安道一书写的摩崖刻经，主要是《文殊般若经》、《摩诃般若经》和《大集经》的节文，以及众多佛名和铭赞、题记。洪顶山刻经的题记里两次确切记述当时已经是释迦牟尼涅槃“一千六百二十年”了，亦即进入“末法”时代了。
洪顶山刻经出现之后，在山东省东平、邹城、泰山、徂徕山、汶上等地的山上，出现众多北齐和北周时期的摩崖刻经，大部分由僧安道一书写，其中最著名的有中国书法史上的两大杰作——泰山经石峪的《金刚经》（节文）和邹城铁山的《大集经·穿菩提品》及《石颂》。
河南省安阳县灵泉寺山门外山坡上的两通刻经碑具有特别宝贵的价值，一通为北齐东安王娄叡供奉，镌刻《华严经·菩萨明难品》和《华严经·佛小相光明功德品》；另一通可能为高僧灵裕供奉，镌刻《华严经》“八会”、《净行品》《如来升兜率天宫一切宝殿品》的节文和《无量义经·德行品》的“赞佛偈”，通称《华严八会碑》或《大乘妙偈碑》。据中国社会科学院考古研究所李裕群研究员考证，这两通刻经碑制作于河清三年，与洪顶山法洪刻经在同一年，而且《大乘妙偈碑》的篆额为“佛吼心藏，大乘妙偈，刊石千记，怖见闻，益法住”，这些文字与隋唐时期的佛教石经一脉相承，*魄直通。灵泉寺的两通刻经碑在中国佛教石经史上具有划时代的意义，它们和洪顶山石经在河北响堂山石窟汇合，共同成为“末法”石经之源。
灵泉寺刻经碑出现以后，在北齐首都邺城附近的今河北省南部和河南省北部，“末法”石经大规模地出现。始凿于天统元年（年）的河北省峰峰矿区南响堂石窟第1、2号窟的内壁上，分别镌刻了《华严经》“四谛品”“如来光明觉品”“菩萨明难品”和“净行品”，以及《文殊般若经》《大集经》《摩诃般若经》的节文和《妙法莲华经》的十六法王子佛名，其中第1号窟右壁和前壁镌刻的《华严经》，是第一次在石壁上连续镌刻一万五千字左右的长篇经文。
天统四年至武平三年（年），北齐晋昌郡公唐邕在邯郸市西南的北响堂石窟南洞廊道和洞外崖壁上，镌刻《维摩诘经》《弥勒下生经》《胜鬘经》和《孛经》。唐邕刻的这四部经，在中国佛教石经史上具有里程碑性质的意义，开创了将整部佛经（并且是四部经典）、近五万字完完整整镌刻在石壁上的先例。在全部经文刻完之后，唐邕还于紧邻结尾处的崖壁上雕刻一通精美的石碑，碑首雕刻龛像，碑身刊刻长篇记事，特别说明在崖壁上刻经是为了永久保存佛经，防止遭到自然和人为的破坏。唐邕碑记中虽然没有出现有关“末法”的文字，但其东面10米左右的山崖上镌刻有与洪顶山相同名称和笔迹的佛名“大空王佛”等，西边2米左右的崖壁上有一龛风格与唐邕碑记龛像十分接近的造像，其下题记记载此龛造像是紧邻洪顶山的山东寿张县（故城在今东平县境内）李氏为其亡夫所造，这些情况显示：唐邕北响堂刻经与洪顶山的“末法”刻经存在密切关系，而碑文中的“法宝是所归依，以为缣缃有坏，简策非久，金牒难求，皮纸易灭……杀青有缺，韦编有绝，一讬贞坚，永垂昭晰”，深沉地表达出对于佛经毁灭的隐忧和祈盼摩崖刻经永垂不朽的愿望。因此可以确定，北响堂石窟的唐邕刻经属于“末法”石经。
在北响堂南洞南侧的“大业洞”内外，还镌刻了《无量寿经优婆提舍愿生偈》和《妙法莲华经·观世音菩萨普门品第廿四》经名；在南洞前壁，镌刻有《无量义经·德行品》的“赞佛偈”；在廊柱上，分别镌刻《二十五佛名》《三十五佛名》以及《大涅槃经》《千佛因缘经》和《胜鬘经·赞佛偈》的文句。这些刻经，与南洞上方山崖上镌刻的“无垢佛”“宝火佛”“大空王佛”，都是北齐时期遗迹，但应该是在唐邕刻经完成以后续刻的。有学者认为北响堂南洞的这些刻经是三阶教刻经，应属误判。根据是：第一，与南、北响堂山石窟的北齐时期刻经相比，南洞前壁、廊柱和大业洞这些刻经的书体明显属于同一类型的北齐作品，和南、北响堂山石窟隋朝开皇、大业年间题刻的书体、字形差别很大。三阶教是隋朝时期才兴起的教派，北齐还没有三阶教，因而北响堂南洞内外这些北齐书风的刻经不可能出自三阶教徒之手。第二，《无量寿经优婆提舍愿生偈》（《往生论》）是佛教地论派以及由地论派衍生出来净土宗极其尊崇的经典，而三阶教与净土宗在信仰和修行上存在着根本性冲突，三阶教徒根本不可能镌刻《无量寿经优婆提舍愿生偈》。第三，灵裕是地论派的一代宗师，前述《大乘妙偈碑》树立在灵裕创建的安阳灵泉寺山门外，《无量义经·德行品》的“赞佛偈”不仅是《大乘妙偈碑》的重要组成部分，而且在隋唐时期灵裕一脉的多处地论派刻经中不可或缺，但在所有的三阶教文献中均看不到这一“赞佛偈”。根据以上三个方面的事实，可以确定，北响堂南洞前壁、廊柱和大业洞的刻经为地论派所刻，不是三阶教刻经。
在中国佛教石经中，可以确定属于三阶教刻经的，只有陕西省淳化县金川湾石窟的唐高宗时期刻经。但是，近百年来中外不少学者一直将北响堂南洞内外的续刻经和佛名，以及隋朝至初唐时期河南、河北、北京、山东等地的一些重要石经，与三阶教联系在一起，形成一些似是而非的认识，今后需要细致辨析，予以纠正。
在响堂山石窟西北近百公里的涉县中皇山娲皇宫，有一处比北响堂唐邕刻经规模更大的摩崖刻经，大约起始于北齐天保（～年）末年，由文宣帝高洋初创，结束于北齐灭亡前夕，可能由唐邕完成这一项巨大的工程。此处共刻6种经：《思益梵天所问经》《十地经》《解深密经》《佛垂般涅槃略说教诫经》《盂兰盆经》和《妙法莲华经·观世音普门品》，总计十三万余字。据说北齐时期在中皇山刻的第一部经是《妙法莲华经》，被明朝末年所建的娲皇阁遮蔽，现在无法看到。现场观察刻经分布情况，最前边的《思益梵天所问经》初品经文被娲皇阁右侧台阶遮蔽，而娲皇阁后墙与山崖连为一体，确有可能遮蔽、或毁坏了原来的刻经。
中皇山摩崖刻经始创时间早于山东的洪顶山摩崖刻经和安阳的灵泉寺刻经碑，但完成在北齐末年，而且不知道高洋初创中皇山刻经是否与“末法”相关，因此未将此处刻经视为“末法”石经的源头。
在北齐首都邺城附近地区，属于北齐时期的摩崖刻经还有河南省卫辉市霖落山香泉寺石窟外镌刻的《华严经·佛不思议法品》大幅经文，以及林州市洪谷寺千佛洞外摩崖镌刻的《佛本行集经·赞佛偈》（仅4句，武平五年刻）和“北方相德如来”佛名。
需要特别注意的是，洪谷寺千佛洞东、西两壁嵌置唐高宗乾封元年（年）之前镌刻的《金刚经》（2卷）、《添品妙法莲华经·观世音菩萨普门品》、北凉昙无谶译《金光明经·赞佛品》“道场菩提树神赞”、《摩诃摩耶经》卷上、《佛遗教经》和《无量义经·德行品》“赞佛偈”。这些经典，大部分与邺城附近北齐和隋朝时期的灵泉寺、中皇山、北响堂、大住圣窟、八会寺等地的刻经存在着承续关系。在安奉方式上，洪谷寺千佛洞刻经与北京市房山区石经山雷音洞四壁的经版属于同一类型，都是单面刻字的碑版，并且嵌置在砌筑的石墙内面。在现存的、公元8世纪以前的佛教石经中，这种类型的石经很少，雷音洞和洪谷寺千佛洞是现存主要的两处。
与北齐统治地区数量众多、规模巨大的石刻佛经形成鲜明对照，在南朝和西魏—北周统治地区却没有见到佛教刻经碑和摩崖刻经。南朝崇信佛教不亚于北朝，梁武帝甚至多次舍弃皇位进寺庙当和尚，北朝还没有佞佛到如此程度的皇帝。“末法”信仰同样在南朝流行，《昭明文选》中的《头陀寺碑》和《经律异相·序》等南朝文献显示，和北朝一样，南朝佛教信众也忧心“末法”到来。但是，为什么南朝没有镌刻石经？其中的主要原因可能是南朝佛教没有遭遇北魏太武帝和北周武帝两次灭佛那样的巨大灾难，因而南朝佛教徒虽然知道“末法”将要到来，但没有像北朝佛教信众那样创鉅痛深的现实危机感，所以没有切实地付诸行动去为长久保存佛经做具体的事情。
同样经历过北魏太武帝灭佛的西魏—北周原统治地区没有出现佛教石经，这一事态比较费解，其中的原因可能是北魏分裂为东、西魏之时，首都洛阳的佛教精英几乎全部转移到东魏的都城邺城，造成西魏—北周的佛教发展水平低于东魏—北齐佛教的局面，同时，西魏—北周不仅经济力量远逊于东魏—北齐，而且统治者对佛教的佞信程度也比不上北齐皇帝的狂热。这些因素结合在一起，可能是西魏—北周统治地区没有产生佛教石经的原因。
北周武帝死后，佛教很快复兴，山东邹城等地的佛教徒立即恢复了在山石上镌刻佛经的事业。隋朝建立以后，隋文帝、隋炀帝更加崇信佛教，推动佛教得到更大的发展。开皇九年（年），灵裕在安阳灵泉寺的西山坡上开凿大住圣窟，“窟面别镌法灭之相”——窟内外镌刻12种佛经的节文和24位“传法圣师”像及名称，激励信众护持正法，“山幽林竦，言切事彰，每春游山之僧，皆往寻其文理，读者莫不歔欷而持操矣。”
大住圣窟虽然不大，刻的经文也比北响堂和中皇山少得多，但对于后世的佛教石经影响巨大。在灵裕家乡河北省曲阳县八会寺的一方巨石上，四面开龛，刻经22种，其中的《妙法莲华经·观世音普门品》镌刻于开皇十三年，仅比大住圣窟晚4年。八会寺刻经在信仰、崇拜和礼忏修行等方面与大住圣窟刻经一脉相承，属于灵裕的传法系统。
北京市房山区石经山雷音洞建成于隋炀帝大业十二年（年），四壁嵌置佛经19种，其中的《妙法莲华经》《金刚经》（菩提流支译本）《胜鬘经》《维摩经》4种构成主体，其余15种绝大多数和灵裕崇奉、弘扬的教法紧密关联，形成隋文帝至隋炀帝时期自南向北的大住圣窟—八会寺—雷音洞的“末法石经”传承链条。
雷音洞的开创者静琬是幽州城内第一大寺智泉寺的高僧，鉴于“末法”时代来临，深忧“佛日将没，群生失导，悲恨伤心”，于是率领门徒、施主和信众来到有天然洞穴、又地近优质石料产地的石经山，决心将全部佛经镌刻在石碑上，锢藏在山洞里，留待未来佛教复兴作为弘法传教的根本依据。静琬的悲心弘愿得到隋炀帝的萧皇后（梁武帝的玄孙女）及其胞弟萧瑀和大臣们的大力支持，刊刻石经的事业得以卓有成效地进行。静琬在唐太宗贞观十三年（年）圆寂，其弟子继承遗志，锲而不舍地坚持刻经，此后的一千年中先后得到唐玄宗和辽圣宗—兴宗—道宗祖孙三代皇帝，以及众多权贵、高僧和广大地域信众的慷慨支助，历隋、唐、辽、金、元、明、清七代，在石经山和山下的云居寺镌刻、锢藏石经将近0方、余卷，形成中国佛教石经的集大成宝库——房山石经，建成全世界最大、最古老的石刻图书馆。
雷音洞和初唐时期石经山上的石经非常清楚地显示，静琬的宗教传承属于灵裕一派的地论系统。明朝万历二十年（年），明末四大高僧之一达观大师（紫柏真可）来到云居寺和石经山，在雷音洞内发现静琬安置的佛舍利，敬献万历皇帝及其生母慈圣皇太后，皇太后在宫内供奉三个月，又遣使送回雷音洞安奉。这是石经山和雷音洞历史上的一件大事，达观大师与另一位高僧憨山德清亲历其事，二人撰写多篇文章、碑记详细记录。只是，达观的《房山县天开骨香庵记》一文有“予闻石经山自北齐慧思尊者镌大藏于石，以寿佛慧命，隋静琬继之”的记述，与史实不符，导致不久后出现的《帝京景物略》认定静琬是慧思弟子。此说沿袭多年，一直被作为“定论”流传于世，虽然十多年前已经有考辩驳正，但至今仍然误导世人。
石经山东北30余公里的孔水洞洞壁上，现存大业十年镌刻的《大般涅槃经·寿命品》长偈和《妙法莲华经·观世音菩萨普门品第廿四》。孔水洞刻经在雷音洞建成之前两年完成，而且两种经文与雷音洞刻经或相同、或相近，因此学术界和佛教界普遍认为孔水洞刻经与雷音洞关系密切，甚至同为静琬所刻。事实可能并非如此，孔水洞刻经的功德主和主持人应该另有其人。因为第一，雷音洞是一座设计精密、营造困难的佛殿，而且是静琬在石经山上初创的事业，从开山筑路到各项工序全部完成，至少需要四、五年的时间，因此雷音洞的擘画、施工应该在孔水洞刻经之前；第二，雷音洞的《妙法莲华经》与孔水洞刻经的版本不同，它的《观世音菩萨普门品》排序是“廿五”，孔水洞是“廿四”，如果二者联系密切、甚或同为静琬所刻，时间和地点都相近的两处刻经不应使用不同的版本。关于孔水洞刻经及其与雷音洞刻经的关系，有待进一步深入细致的研究。
大书法家欧阳询之子欧阳通书写的名碑《道因法师碑》，记载了唐太宗时期道因法师在成都附近的彭门山光化寺刊刻石经之事：“而以九部微言，三界式仰，缅惟法尽，将翳龙宫，挥兔毫而匪固，籀鱼网而终灭，未若镌勒名山，永昭弗朽。遂于寺北岩上，刻石书经，穷多罗之秘袠，尽毗尼之妙义。纵洪澜下注，巨火上焚，俾此灵文，永传遐劫。（此句《宋高僧传·道因传》为“纵尧世之洪水襄陵，任赵简之北山燎狩，必无他虑，与劫齐休。”）岂直迷生之类，睹之而发心；后学之徒，详之而悟道。”这些文字显示，道因刻经与唐邕、灵裕、静琬一脉相承，也属于“末法石经”。道因是濮阳人，在泰山灵岩寺出家、修行，隋末避难蜀地，声誉渐隆，玄奘自印度归国后奉诏译经，延请道因加入译场，“校定梵本，兼充证义。”显庆三年（年）三月道因在长安慧日寺圆寂，四年“正月旋神座于益部，二月八日，窆于彭门光化寺石经之侧”。由此可见他对自己所刻石经何等崇重。都江堰北边灵岩山发现的唐代石经，可能即是道因法师及其身后的光化寺僧人刊刻的。
在泰山灵岩寺般舟殿基址的一个石柱和石灯台上，现存唐高宗永徽元年（年）镌刻的五十三佛、二十五佛名等多种佛名，以及《决定毗尼经》中的“忏悔文”，有学者断定这些石刻为三阶教遗存。需要指出：这样的判断与隋唐时期的佛教发展情况不符，且与灵岩寺的历史大相径庭。第一，《续高僧传》的《僧意传》和《道辩传》，以及上述《道因法师碑》均透露出，灵裕和泰山灵岩寺有很密切的联系，地论派在灵岩寺有重要影响，道因在都江堰灵岩山刻的石经与泰山灵岩寺及地论派可能有关联，而五十三佛、二十五佛等佛名和《决定毗尼经》的“忏悔文”，在灵裕开凿的大住圣窟、曲阳八会寺和房山雷音洞均有镌刻，三阶教的七阶佛名是从大住圣窟的《略礼佛忏悔文》衍生出来的a。第二，泰山灵岩寺是海内名刹，佛教重镇，地位崇高，唐初武德年间在寺内建大阁，永徽元年建规模宏大的般舟殿，麟德二年（年）唐高宗与武后亲临灵岩寺，仪凤年间建大塔，三阶教的寺院不可能有这样的气象，寺内现存的众多碑刻和塔林也没有任何三阶教的痕迹。第三，顾名思义，灵岩寺般舟殿是修般舟行法的场所，而般舟行法是地论派及其衍生出来的华严宗和净土宗特别重视的苦行修法，三阶教没有这样的修行。因此，从般舟殿之名可以确定，其石柱和灯柱上的佛名等文字，不可能是三阶教徒镌刻。唐高宗晚期至唐玄宗时期，泰山灵岩寺成为禅宗北宗寺院，高僧降魔藏和净觉先后在灵岩寺弘法，他们不会再修般舟行法，同时也不会容许三阶教徒在寺内任意活动。
陕西省淳化县金川湾石窟窟内东西两壁刻满经文，原刻经文约十六万余字，现存六万余字。东壁刻有《佛说大方广十轮经》《大集月藏分经略抄出一卷信行禅师撰》《明诸大乘修多罗内世间出世间两阶人发菩提心同异法一卷信行禅师撰》《明诸经中对根浅深发菩提心法一卷信行禅师撰》。西壁刻有《添品妙法莲花经》《七阶佛名经》《金刚般若波罗蜜经》《如来示教胜*王经》，其中《金刚般若波罗蜜经》卷首残存题记“左戎卫兵曹参*……施手书”。《新唐书·百官志·十六卫》记载，“左右戎卫”之名始于唐高宗龙朔二年（年），至咸亨元年（年）改为“左右领*卫”。据此判断，金川湾石窟应该营建于龙朔二年至咸亨元年这八年间。此窟在重要位置刻三阶教创始人信行的三种著作，且一一题署“信行禅师撰”，清楚显示此窟为三阶教徒营建。金川湾石窟是迄今所知唯一一处确定无疑的三阶教石窟和刻经，弥足珍贵。
洛阳龙门石窟现存10处刻经，可以确定时间的7处均为唐高宗至武周时期镌刻，其余3处也可以确定不晚于唐玄宗时期，但没有早于唐朝时期之物。擂鼓台中洞所刻《金刚经》《心经》《阿弥陀经》《佛顶尊胜陀罗尼经》《六门陀罗尼经》《付法藏因缘传》等，镌刻于武周时期，是龙门石窟刻经中最重要的一处，它们第一次将显教与密教经典并列镌刻，突显出密教在中国佛教中开始具有独立的重要地位。［可能稍早于擂鼓台中洞刻经，房山石经于天授二年（年）、龙门石窟莲花洞于如意元年（年）分别镌刻的《佛顶尊胜陀罗尼经》，是最早的密教石经。］擂鼓台中洞所刻的《金刚经》，与本书记录的雷音洞刻经一样，不是通行的鸠摩罗什译本，而是菩提流支译本，透露出擂鼓台中洞刻经的主持者可能是地论派、或其嫡传华严宗的僧人。
原藏山西省太原市风峪的石刻《华严经》，卷首称“大周新译《华严经》第一卷之上，两条成卷”，每卷分卷之上、卷之下二石。据此可知，镌刻的是证圣元年（年）至圣历二年（年）实叉难陀等人翻译的八十卷本，全部石经应有石。年风峪遗址出土的后唐长兴元年（年）经幢记载，“造《华严经》一部八十卷，经荒沙汰，毁损伤残”，可知五代时已有损毁。清朝康熙五年（1年）朱彝尊至风峪现场考察，其《风峪石刻佛经记》述：“环列所刻佛经，凡石柱一百二十六。”抗日战争之前徐永昌编的《山西省各县名胜古迹古物调查表》统计，风峪石经存石。日本侵略*占领太原之后，年企图将石经劫运日本，风峪附近民众拼力匿藏，至日寇投降以后移送晋祠保藏。年晋祠文物保养所保藏石，现经遗址出土和民间收集共存石（包括残石）。从风峪石经中所见的武周新字可以判定，其经石应镌刻于圣历二年至长安四年（年）的五年之间，是现存八十卷《华严经》的最早版本。风峪石经全部无盖无座，多数为高1米以上的方形石柱，四面刻字，另有少数五面、六面或八棱形的形制。在中国佛教石经中，风峪石经的形体独一无二。
唐朝时期规模最大的一处摩崖刻经在四川省安岳县卧佛院，共有刻经窟15座，镌刻《大般涅槃经》《妙法莲华经》《佛名经》《般若波罗蜜多心经》《摩诃般若波罗蜜经》《修多罗般若波罗蜜经》《金刚般若波罗蜜经》《金光明经》《维摩诘经》《大方便佛报恩经》《报父母恩重经》《阿弥陀经》《大乘大集地藏十轮经》《禅秘要经》《佛说禅法略出》《佛顶尊胜陀罗尼经》《药师琉璃光佛功德本愿经》《灌顶随愿往生十方净土经》等，共四十余万字，在中国摩崖刻经中是字数最多的一处，大约自开元十一年或略早时候开始，大部分至开元后期完成，可能在五代十国的后蜀时期又续刻了一部分。特别值得注意的是，卧佛院46号窟刊刻的亁封元年（年）静泰编《众经目录》及其《大唐东京大敬爱寺一切经论目序》，是现存的这一文献最早的版本（惜仅刻了前两卷），同时显示出卧佛院刻经的底本可能是来自洛阳大敬爱寺的《众经》（《一切经论》）。
唐朝时期四川地区的佛教石经还有安岳县玄妙观开元十八年（年）镌刻的《般若波罗蜜多心经》刻经碑，以及资中县南岩咸通年间（～年）镌刻的《妙法莲华经》和《般若波罗蜜多心经》。
唐朝时期另外两处著名的佛教石经是长庆四年（年）杭州西湖孤山永福寺镌刻的《法华经》，以及大和三年（年）完成的苏州重玄寺《法华经》《维摩经》《金刚经》《佛顶尊胜陀罗尼经》《阿弥陀经》等八部石经，大诗人元稹和白居易分别为这两处石经写下《永福寺石壁法华经记》和《苏州重玄寺法华院石壁经碑文》，记录了它们的刊刻缘起及具体情况。据文献记载，唐朝时期尚有洛阳长寿寺的《华严经》、圣善寺的《法华经》和嵩山嵩岳寺的《楞伽经》等处石经。遗憾的是，寺庙里刊刻的这些石经，早已全部佚失。
伴随着密教、特别是《佛顶尊胜陀罗尼经》在中国的传播，在唐朝时期的佛教石经中出现了一种新的类型——经幢。经幢的基座和顶部近似于石塔，幢身近似于石柱，是介于石塔与石柱之间、形体细高的一种佛教崇拜物。经幢幢身为八面体（少数为六面体、个别为四面体），绝大多数经幢在幢身雕刻《佛顶尊胜陀罗尼经》，也有少数雕刻其他密教经咒或铭文。现存最早的经幢在河北省赞皇县治平寺内，是唐高宗末期制作的a。唐、五代、宋、辽、金时期，佛寺内普遍树立经幢，影响巨大，以致唐朝时期的景教信徒也仿照佛教经幢，制作了雕刻十字架和景教经典、铭文的石幢。
北宋时期兴起在佛塔中嵌置石经的新风尚。吴越国王钱俶在杭州西湖南岸夕照山的雷峰上建塔，太平兴国二年（年）在塔的内壁嵌置石刻《华严经》《金刚经》等，钱俶亲撰跋文，谓：“塔成之日，又镌《华严经》诸经，围绕八面。”年雷峰塔倒塌，塔内石经损毁，现仅存零散残版。
在北宋首都汴京（今河南省开封市），同样建造于太平兴国时期的繁塔，在第一层南门甬道东、西两壁嵌置石经六方，东壁为宋宗室赵安仁所书《金刚经》，西壁为《十善业道经要略》及《佛说天请问经第二》；在第二层南门甬道内，也嵌置石经六方，为《大方广圆觉修多罗了义经》。此外还有北宋绍圣三年（年）安徽省宣城县城北敬亭山南麓之双塔，塔内嵌置石刻《观自在菩萨如意陀罗尼经》，为大文学家苏轼书写。南宋绍兴二十六年（年）重建的杭州六和塔，塔身内壁的壁龛嵌置石经《四十二章经》。
其他见于文献记载的宋刻石经有苏州虎丘云岩寺的《普门品经》，江苏句容崇圣寺的《金刚经》等，亦均不存。河南宝丰县香山寺现存由权臣蔡京书丹、北宋时期镌刻的石经《香山大悲菩萨传》，是北宋佛教石经的代表性作品。
南宋时期最重要的佛教石经是重庆市大足县大佛湾摩崖镌刻的宗赜《孝行录》、杨次公《证道牧牛颂》文字和小佛湾经目塔镌刻的大藏经目录。
明代重要的佛教石经集中在北京地区，著名的有三处：一是北京西郊八里庄摩诃庵金刚殿东西两壁砌置的64方汉白玉经版，上镌篆书三十二体《金刚经》，刊刻*靖二十五年（年）；二是房山区上方山兜率寺大雄宝殿后墙外壁砌置的万历五年（年）大太监冯保所书《四十二章经》15方；三是房山石经山第6洞（雷音洞北壁隔壁）锢藏的万历、天启、崇祯年间镌刻的石经，当时有吴兴沙门真程劝募在京为官的江浙居士葛一龙、董其昌等续刻石经，在北京城内的石灯庵镌刻四十卷本《华严经》《法宝坛经》《宝云经》《佛遗教经》《四十二章经》《大方广总持宝光明经》《梵网经》《阿弥陀经》等十余部，送往石经山第6洞锢藏。
清朝时期的佛教石经，最重要的有三处。早期的一处是北京房山区云居寺内康熙年间的5通大型刻经碑，是重开山僧人溟波“以遵古人刻经板”树立的，其中2通分别镌刻《药师琉璃光如来本愿功德经》和《金刚经》，树立在药师殿前；2通分别镌刻《观世音菩萨普门品》和10多种密教经咒，树立在弥陀殿前；1通镌刻《阿弥陀经》，树立在辽金石经地穴旁。当时，封藏房山石经的山洞和地穴不能打开，溟波继承千年传统续刻的石经只能另创新式，刻大碑树立在寺庙院内。因此，康熙年间镌刻的这5通大经碑应该归属房山石经之列，它们是最后的一批房山石经。
乾隆三十二年（年），简州（今四川省简阳市）牧宋思仁感念辖区内天成寺楚山祖师之恩，刊刻《金刚经》于细小碑石上，共计32方（每方仅有算盘大小），赠予天成寺，此寺因之更名石经寺。至道光年间，宋思仁所刻《金刚经》仅剩一方，寺僧募资续刊，年以后被从寺内移出，后不知所踪。近期发现了明代的《石经楚山和尚语录》，显示明朝时期石经寺已经有石经，现在该寺内仅存的一方石经，据说可能是明朝刊刻的。
清朝佛教石经的晚期杰作，是光绪四年（年）创始、光绪七年完成的杭州弥陀寺摩崖刻经《阿弥陀经》。净土宗大师印光在《杭州石经山弥陀寺募修葺殿堂寮舍并浚放生池疏》一文中特别记述：“石经刻成，饰之以金。凡属见者，莫不肃然起敬。”
以上所述为我国汉族地区镌刻的汉文佛教石经概况。在四川、青海两省广阔的藏族地区，还有多处巨大的藏文佛教石经，值得